E / P 1 , E / P 2 , 
 
 A k t i v , I n a k t i v , 
 
 I n a k t i v , 
 
 I n a k t i v , 1 . 0   s , 5 . 0   s , 1 0 . 0   s , 
 
 I n a k t i v , 
 
 E i n g a n g   A , E i n g a n g   B , 
 
 D r u c k , V a k u u m , S e k u n d  r a n s t i e g , 
 
 I n a k t i v , 2 0   % , 5 0   % , 1 0 0   % , 
 
 I n a k t i v , 1 0 0 . 0   P a , 3 0 0 . 0   P a , 5 0 0 . 0   P a , 
 
 I n a k t i v , 1 0 . 0   P a , 2 0 . 0   P a , 5 0 . 0   P a , 1 0 0 . 0   P a , 2 0 0 . 0   P a , 5 0 0 . 0   P a , 1 0 0 0 . 0   P a , 
 
 I n a k t i v , A k t i v , P S / g r o  e s   L e c k , N u r   g r o  e s   L e c k , 
 
 I n a k t i v , A k t i v [ A L C   C H G ] , I n a k t i v [ A L C   C H G ] , 
 
 1 . 0   % , 0 . 5   % 
 
 